PR

エアベアリング ウエストウインドエアベアリング

ジーエスアイ・グループ・ジャパン(株)

最先端の半導体製造装置向け

“ウエストウインドエアベアリング”は、最先端の高精度・高品質な要求に応える半導体製造装置向けエアベアリング。イオン注入装置用エアスピンドルは超高精度位置決め、300mm以上のストローク、高真空環境対応(10−7Torr)を実現。シャフトは直動中での回転も可能で、イオンビームの発生状況により入射角を可変できる。

この製品が気になった方はこちら
お問い合わせ
エアベアリング ウエストウインドエアベアリング

関連製品カタログ

ウェーハバンプ検査装置 WVI-6000

【WVI-6000】は、300mmウェーハ対応のウェーハバンプ検査装置。独自の非走査、マルチビーム共焦点撮像系を2次元計測技術に結びつけて開発さらたもので、高精度・広視野2D/3Dセンサを搭載し、16WPH(300...

バーコードラベル フォト/カード向け サーマルプリントヘッド
ウエーハーマウンター モデルFX-300シリーズ
水平多関節ロボット miniSCARA/300
ダストトラップネット/フェンス

会社情報

ジーエスアイ・グループ・ジャパン(株)
〒1050012
東京都港区芝大門2-10-12 KDX芝大門ビル1F
http://www.gsig.co.jp

エアベアリング ウエストウインドエアベアリングへのお問い合わせ

ここではお客様からこの企業へのご意見、ご要望、ご質問などを受け付けております。
※お問い合わせの内容によっては、お返事に時間がかかる場合がございます。あらかじめご了承ください。

要望事項(1000文字以下)