微小異物検査装置
最終更新日:2017/02/24
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検出異物の濃淡・形状をリアルタイムで設定可能
【微小異物検査装置】は、顕微鏡で拡大観察している微小異物検査作業を一段と効率化できる製品。高精細ラインカメラで広視野かつ高分解能に撮影し、画像の中で自動で異物検査が可能。ガラス・フィルムなど様々な素材やサイズの異物・キズの発見に利用可能。7450素子の高精細ラインセンサカメラを採用。分解能：0.1μmも可能。
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