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大気圧プラズマ照射装置 MEUT-AP-1-150／MEAP-1-150

(株)エム・ディ・エキシマ

最終更新日:2014/01/31

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  • 大気圧プラズマ照射装置 MEUT-AP-1-150／MEAP-1-150
大気圧で洗浄・表面改質が可能
【MEUT-AP-1-150／MEAP-1-150】は、ガラス・フィルム・電子部品の接合面の有機物除去、表面改質、接着性向上などの処理が大気圧インラインで高速処理できる装置。172nmエキシマランプと大気圧プラズマを組合わせることで、同一装置で両方式の表面改質・洗浄処理が可能。接合面強度向上と有機物汚染除去により製品品質を向上。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)エム・ディ・エキシマ
住所：
〒 224-0029
横浜市都筑区南山田3-6-33
Web：
http://www.mdexcimer.com