カセット・キャリア洗浄装置 TCC-803

製品カタログ・資料

カセット・キャリア洗浄装置（SMIFクリーナー） モデルTCC-803

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.2MB＝＝＝＝＝　「カセット洗浄の悩み、解決します！」　＝＝＝＝＝ 【モデルTCC-803】は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした、少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置。 「洗浄」→「リンス」→「乾燥１」→「乾燥２」・「静電気除去」のプロセスを自動運転。 ■特長 ・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄 ・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施 ・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現 ■処理数： ・SMIF POD：32個／シフト(8時間) ・200mmカセット：106カセット／シフト(8時間) ・150mm カセット：160カセット／シフト(8時間) ※200mm(8)カセットまで対応。