仕様
用途 | 半導体や液晶製造工程で使用される薬液の脱気 現像液、レジスト液、リンス液、エッチング液、メッキ液、超純水液 プリンター用インク液などの脱気 写真感光液、インク 測定値への悪影響因子の除去 液中パーティクルカウンターにおける試料液の脱気 |
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製品カタログ・資料
- 薬液用脱気モジュール
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:7.39MB本製品は、耐薬品性・耐熱性に優れたフッ素樹脂を接液材質として用いており、中空糸膜に気体透過性のよいPTFEを採用した薬液用脱気モジュール。非多孔質膜により液のバリア性に優れ、真空側への液の浸透がなく、溶剤系液体の脱気にも適している。
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