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各種スパッタ装置用直流電源 GEXUS-N6

オリジン電気(株)

多段インバータ方式を採用

【GEXUS-N6】は、多段インバータ方式の採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現した各種スパッタ装置用直流電源。主な仕様は、ワイドレンジインピーダンス、制御方式:定電力、冷却方式:強制風冷、外形寸法:149×483×600mm、絶縁抵抗:10MΩ以上、最大電力:6kW、最大電圧:DC−400V〜−800V、最大電流:15Aなど。

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オリジン電気(株)

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