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薄型1.5kWスパッタ用直流電源 GEXUS-1.5

オリジン電気(株)

多段インバータ方式を採用

【GEXUS-1.5】は、多段インバータ方式の採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現したスパッタ用直流電源。1U:43.5mmの超薄型サイズながら1.5kWの出力が可能で、力率改善(PFC)回路内蔵により入力高調波を低減できる。制御方式:定電力、冷却方式:強制空冷、外形:43.5×483×520mm、重量:10kg以下。

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薄型1.5kWスパッタ用直流電源 GEXUS-1.5

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オリジン電気(株)

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