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高温対応型圧力トランスジューサ PA-930-Aシリーズ

日本電産コパル電子(株)

150℃の圧力媒体も測定可能にした絶対圧タイプ

【PA-930-Aシリーズ】は、感圧素子として半導体型薄膜素子を採用することにより、高真空領域(1.4×10-4Pa abs)まで精度良く計測できる高温対応圧力センサの絶対圧タイプ。ゲージ圧タイプも有。ダイアフラム部はニッケル基耐食合金、継手部にSUS316Lを使用し耐食性に優れている。別途、放熱フィン不要。小型・軽量も実現。主な用途は半導体及び液晶/有機EL製造装置にて使用される高温環境下でのガス、液体の圧力制御。

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会社情報

日本電産コパル電子(株)

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