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非接触搬送装置 フロートチャックC(SAN)型

(有)ソーラーリサーチ研究所

低ストレス、低消費空気量を実現

【フロートチャックC(SAN)型】は、気体を基板に向かって噴出することにより、基板を空中に浮遊した非接触の状態で懸垂保持し、搬送する非接触搬送装置。垂直旋回流方式のため中央部に局所負圧を発生することがなく、ワーク(ガラス、ウエハほか)にストレス与えることがない。また、空気消費量が従来型に比べ約1/2の省エネエルギーで、大型ガラス基板の非接触搬送を可能にした。

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会社情報

(有)ソーラーリサーチ研究所

(有)ソーラーリサーチ研究所
〒5610874
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