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◆耐摩耗性、メンテナンス性、高粘度液・高濃度スラリーの移送に優れたスラリーポンプ

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・ガラス板・バイオ膜・微小物を非接触にてチャックし、搬送するベルヌーイチャック『フロートチャックSA-CH型』

2018/10/18

(有)ソーラーリサーチ研究所

ベルヌーイチャック「SRL:フロートチャックSA-CH型」は、新しく気体垂直噴流方式を採用しております。
気体垂直噴流方式は、クッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。

≪適応≫
1.微細ウエハチップ
2.微細レンズ
3.モールドレンズ用プリフォーム
4.高温ウエハ
5.水和工程の含水したソフトコンタクトレンズ
6.柔軟フィルム(バイオフィルム)

[お問い合わせ先]
(有)ソーラーリサーチ研究所
〒560-0022大阪府豊中市北桜塚2-7-12
電話:06-6852-3876
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