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4探針法 全自動測定ソーター WS-8800

ナプソン(株)

ウェハ搬送ロボット搭載、要望に応じたカスタマイズにも対応

【WS-8800】は、シリコンウェハの厚さ測定、PN判定、温度測定に対応する4探針法(接触式)の全自動測定ソーター。ユーザーの要望に応じて、さまざまにカスタマイズ可能。セルフテスト機能のほか厚さ・周辺位置・温度補正機能(抵抗率(比抵抗)測定)を備え、抵抗率:100μ~1MΩ・cm、シート抵抗:1m~10MΩ/sqと、測定範囲が広い。測定対象は、半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)、測定サイズ:3~8インチまたは12インチ。カセット数は要望により、いくつでも対応可能。

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