PR
【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ
⇒⇒⇒セキュアなワイヤレスIoTをお求めですか?

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION Series 04.3/05.3

VAT(株)

パーティクルフリー、ショックフリー、シール材に合わせてシール力を調整

【L-MOTION Series 04.3/05.3】は、半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。閉動作を圧空シリンダーで行うことでショックとごみが低減し、サービスライフの向上に貢献する。

この製品が気になった方はこちら
製品カタログ
お問い合わせ
角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION Series 04.3/05.3

仕様

型番 ■バルブ L-MOTION 圧空作動式
複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし
04312-BA24/BH24
04313-BA24/BH24
04331-BA24/BH24
04344-BA24/BH24
※BAは24アルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム

■インサート L-MOTION 圧空作動式
複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし
05312-LA24/LH24
05313-LA24/LH24
05331-LA24/LH24
05344-LA24/LH24
※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
価格 要相談
納期 要相談
用途 半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用。
エッチャー、CVDなど過酷なプロセス向き。
利用されている業界 半導体業界、FPD業界

その他の情報

※同社ではプライスリストの送付をしていないため、料金については見積依頼が必要

関連製品カタログ

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION Series04.3/05.3

半導体製造装置のロードロックチャンバー、および、プロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。高速でスムーズな開閉動作でパ...

振子式高真空バルブ Series 16.2
均等排気バルブ Series67.0
ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0
緊急遮断シャッターシステム Series77.1/77.3
オールメタルゲートバルブ Series48.1/48.2
角型ゲート/インサート MONOVAT Series02.2/03.2
UHVステッパーモータ モデルDシリーズ

会社情報

VAT(株)

<明るい未来を創るイノベーション>

VATは高性能でハイエンドの真空バルブ、マルチ・バルブ・モジュール、溶接ベローズとサービスにおいて世界をリードする開発者、メーカー、サプライヤーです。スイスに本社があるVATグループでは、世界中で約1,300人の社員が働いています。VATはスイスのハーグ、マレーシアのペナン、そしてルーマニアのアラドに生産設備の拠点を持っています。

VATの製品とサービスは主に半導体、ディスプレイ、ソーラーパネルとそのほかの幅広い産業と研究用途に使われています。

VATのお客様対応の部隊はアジア、アメリカ、ヨーロッパ・中東・アフリカ、その他の4つの地域で組織されています。各地域には、お客様が高い専門的なアドバイスとサービスを受けられるようにセールス、サービスとエンジニアリングサポートが配置されています。

過去50年間でVATは絶え間ない技術革新と品質・信頼性へのこだわりにより、真空バルブのグローバルリーダーとしてのポジションを確立しました。

VAT(株)
〒2210056
神奈川県 横浜市神奈川区金港町2-6 横浜プラザビル7F
電話: 045-440-0341
-
PR
日本随一、2500点の配管部品サテライト・ショールームがお台場に誕生。