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均等排気バルブ SFV Series 67.0

VAT(株)

パーティクルフリーな動作で均等排気を実現

【SFV Series 67.0】は、SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。卓越した圧力制御の実績を持ち、高度なエッチングプロセスに最適。

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均等排気バルブ SFV Series 67.0

仕様

価格 要相談
納期 要相談
用途 半導体・FPD製造装置のおけるエッチングプロセスなどに使用
利用されている業界 半導体・FPD業界

その他の情報

※同社ではプライスリストの送付をしていないため、料金については見積依頼が必要

関連製品カタログ

均等排気バルブ Series67.0

均等なガスフローで高度なエッチングプロセスに最適。SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。

真空注入装置
ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0
大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6
角型ゲート/インサート MONOVAT Series02.2/03.2
大排気量真空発生器 CONVUM CVZシリーズ
大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
UHVステッパーモータコントローラ・ドライバー モデルSMD210

会社情報

VAT(株)

<明るい未来を創るイノベーション>

VATは高性能でハイエンドの真空バルブ、マルチ・バルブ・モジュール、溶接ベローズとサービスにおいて世界をリードする開発者、メーカー、サプライヤーです。スイスに本社があるVATグループでは、世界中で約1,300人の社員が働いています。VATはスイスのハーグ、マレーシアのペナン、そしてルーマニアのアラドに生産設備の拠点を持っています。

VATの製品とサービスは主に半導体、ディスプレイ、ソーラーパネルとそのほかの幅広い産業と研究用途に使われています。

VATのお客様対応の部隊はアジア、アメリカ、ヨーロッパ・中東・アフリカ、その他の4つの地域で組織されています。各地域には、お客様が高い専門的なアドバイスとサービスを受けられるようにセールス、サービスとエンジニアリングサポートが配置されています。

過去50年間でVATは絶え間ない技術革新と品質・信頼性へのこだわりにより、真空バルブのグローバルリーダーとしてのポジションを確立しました。

VAT(株)
〒2210056
神奈川県 横浜市神奈川区金港町2-6 横浜プラザビル7F
電話: 045-440-0341
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