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ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0

VAT(株)

大きな差圧対応、アングルおよびインラインボディ

【ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0】は、初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用アングル/インラインバルブ。絞り開口部はメモリでの設定が可能。

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ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0

仕様

型番 ■圧空作動式
単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし
アングル
DN25 29028-KA11/KE11
DN40 29032-KA11/KE11
DN50 29034-KA11/KE11
DN63 29036-QA11/QE11
DN80 29038-QA11
DN100 29240-QA11
DN160 29244-QA11

インラインバルブ
DN25 29128-KA11/KE11
DN40 29132-KA11/KE11
DN50 29134-KA11/KE11

■圧空作動式
メインバルブ: 複動シリンダー
ソフト排気バルブ: 単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし
アングル
29240-QA14/QE14
29244-QA14/QE14
価格 要相談
納期 要相談
用途 振動抑制用

その他の情報

※同社ではプライスリストの送付をしていないため、料金については見積依頼が必要

関連製品カタログ

ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0

初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用。

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会社情報

VAT(株)

<明るい未来を創るイノベーション>

VATは高性能でハイエンドの真空バルブ、マルチ・バルブ・モジュール、溶接ベローズとサービスにおいて世界をリードする開発者、メーカー、サプライヤーです。スイスに本社があるVATグループでは、世界中で約1,300人の社員が働いています。VATはスイスのハーグ、マレーシアのペナン、そしてルーマニアのアラドに生産設備の拠点を持っています。

VATの製品とサービスは主に半導体、ディスプレイ、ソーラーパネルとそのほかの幅広い産業と研究用途に使われています。

VATのお客様対応の部隊はアジア、アメリカ、ヨーロッパ・中東・アフリカ、その他の4つの地域で組織されています。各地域には、お客様が高い専門的なアドバイスとサービスを受けられるようにセールス、サービスとエンジニアリングサポートが配置されています。

過去50年間でVATは絶え間ない技術革新と品質・信頼性へのこだわりにより、真空バルブのグローバルリーダーとしてのポジションを確立しました。

VAT(株)
〒2210056
神奈川県 横浜市神奈川区金港町2-6 横浜プラザビル7F
電話: 045-440-0341
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