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振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

VAT(株)

高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作

【振子式バルブコントロールシステム Series 65.0】はSEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ。コンパクトデザインでメンテナンスが簡単。極めて短い制御応答時間。

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振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

仕様

型番 コントローラ搭載型
■アルミニウム
DN100 65040-PAGG/JAGG
DN160 65044-PAGG/JAGG
DN200 65046-PAGG/JAGG
DN250 65048-PAGG/JAGG
DN320 65050-PAGG/JAGG
DN350 65051-JAGG
DN400 65052-PAGG/JAGG

■硬質アルマイト加工アルミニウム
DN100 65040-PHGG/JHGG
DN160 65044-PHGG/JHGG
DN200 65046-PHGG/JHGG
DN250 65048-PHGG/JHGG
DN320 65050-PHGG/JHGG
DN350 65051-JHGG
DN400 65052-PHGG/JHGG
価格 要相談
納期 要相談
用途 圧力制御、真空封止
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
利用されている業界 SEMI、FPD

関連製品カタログ

振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ。特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適。

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会社情報

VAT(株)

<明るい未来を創るイノベーション>

VATは高性能でハイエンドの真空バルブ、マルチ・バルブ・モジュール、溶接ベローズとサービスにおいて世界をリードする開発者、メーカー、サプライヤーです。スイスに本社があるVATグループでは、世界中で約1,300人の社員が働いています。VATはスイスのハーグ、マレーシアのペナン、そしてルーマニアのアラドに生産設備の拠点を持っています。

VATの製品とサービスは主に半導体、ディスプレイ、ソーラーパネルとそのほかの幅広い産業と研究用途に使われています。

VATのお客様対応の部隊はアジア、アメリカ、ヨーロッパ・中東・アフリカ、その他の4つの地域で組織されています。各地域には、お客様が高い専門的なアドバイスとサービスを受けられるようにセールス、サービスとエンジニアリングサポートが配置されています。

過去50年間でVATは絶え間ない技術革新と品質・信頼性へのこだわりにより、真空バルブのグローバルリーダーとしてのポジションを確立しました。

VAT(株)
〒2210056
神奈川県 横浜市神奈川区金港町2-6 横浜プラザビル7F
電話: 045-440-0341
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