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【カタログプレビュー】角型ゲート/インサート MONOVAT Series02.2/03.2

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200m、300、450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ゲートの自己調整機能によりメンテナンスフリーのアクチュエータ。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。低ショックでパーティクルフリー、バイブレーションフリー。

発行元:VAT(株)

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