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3Gモバイル通信対応気象観測用データロガRX3003
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【カタログプレビュー】角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION Series04.3/05.3

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半導体製造装置のロードロックチャンバー、および、プロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。高速でスムーズな開閉動作でパーティクルフリー。開または閉位置での圧空ロック機構。サービスカバーからの簡単なメンテナンス。

発行元:VAT(株)

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