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【カタログプレビュー】イオンビームエッチング装置

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本装置は、イオンソースを使用して加工対象物にイオンビーム照射し、ドライエッチングを行うイオンビームエッチング装置。Au、Pt、磁性材などを容易にエッチングすることが可能で、テーパー加工が容易に行える。また、基板表面温度80℃以下での処理が可能。有毒ガスを使用しないため排ガス処理が不要、エンドポイントディテクターを搭載可能。ユーザーの用途に合わせて、研究開発用の小型チャンバーと生産用の大型チャンバーおよび基板ステージを構築する。

発行元:アールエムテック(株)

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