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ダイヤモンド成膜装置 MDD-2016

日本高周波(株)

直径2インチのダイヤモンド膜を成膜

【MDD-2016】は、高出力(最大5kW)のマイクロ波電源および自動整合器(4Eチューナ)により、安定した高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できるダイヤモンド成膜装置。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御する。成膜範囲:直径2インチ。

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http://www.nikoha.co.jp
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