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パワーデバイス用オートプローバ PW-8000

(株)日本マイクロニクス

オンウェハ耐電圧:3,000V、最大許容電流:1,200A(パルス)に対応

【PW-8000】は、最大8インチウェハ対応のパワーデバイス向けフルオートプローバ。独自のチャック構造とコンタクタにより、低インダクタンス化、低抵抗化を実現。耐電圧設計で、最大3,000Vまでの高電圧測定に対応。同社製プローブブロックの使用により、許容電流:1,200A(パルス)の大電流測定が行え、パワーデバイスの低Ron測定などの大電流特性を、ウェハ状態で試験できる。チャック/プローブブロックピン交換が容易で、高いメンテナンス性を維持。極薄ウェハ搬送システムや専用温度コントローラーなど、さまざまなオプションの搭載が可能。

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パワーデバイス用オートプローバ PW-8000

仕様

寸法 W1,380×D1,215×H1,280mm
重量 1,000kg

その他の情報

ウェーハサイズ:φ150mm/φ200mm
耐電圧:3,000V *
許容電流:1,200A (パルス) *
 ※Model HC-04 大電流対応プローブブロック 使用時
総合位置決め精度:XYZ軸 ±5μm以下

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会社情報

(株)日本マイクロニクス

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〒1808508
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https://www.mjc.co.jp/