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チャージアップモニタウエハ

(株)フィルテック

プラズマ使用半導体製造装置のチャージアップダメージの測定

【チャージアップモニタウエハ】は、プロセス処理時において、半導体製造設備が半導体ウエハ製品に与えるゲート酸化膜ダメージ度合を評価するテストウエハ。ドライエッチャー、アッシャー、PE-CVD、スパッタ、インプラなどのプラズマ利用装置が対象。半導体製品のプロセス不具合の原因究明、新規プラズマソース開発の指針に有効。ウエハサイズは8インチと12インチ。さらに不定形基板製品に対しては、チップ評価も提供。評価サービスにも対応。

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