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【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ

シールド機構付き300mmオートプローバー TS3000-SE

MPI Corporation

高精度・高信頼性でオンウェハーの多様なアプリケーションに対応

【TS3000-SE】は、デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応するオートプローバー。優れたEMI/RFIシールド、遮光環境により理想的な1/fノイズ測定結果を導き出し、fAレベルの微小電流測定が可能。60~300℃の広温度範囲に対応。一体型アクティブ防振機構を採用。

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その他の情報

・デバイスモデリング:DC-IV、DC-CV、パルスドIV
・RFおよびミリ波:26~110GHz帯/110GHz以上
・WLR:高温/低温/ストレス試験
・故障解析:プローブ・カード/内部ノードテスト

MPI独自ShielDEnvironmentチャンバー
・ウェハーを簡単に前面よりロード可能。自動測定用の側部よりのローダー(プリアライメント)
・Vertical Control Environment(VCE)技術によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、安全なオペレーションが可能
・Safety Test Management(STM)機能によりすべての温度においてウェハーのロード/アンロードを可能に、また露点を自動制御(オプション)

関連製品カタログ

TS3000-SE オート・プローバー 製品概要

TS3000-SE 各種機能をご紹介

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会社情報

MPI Corporation

MPI Corporationは1995年設立の台湾・新竹に本社をおく上場企業で、半導体、LED、光検出器、レーザー、材料開発、航空宇宙、自動車産業、光関連、電子部品のテクノロジーリーダーとして地位を確立してきました。MPIは4つの事業部、Probe Card、Photonics Automation、Advanced Semiconductor Test、Thermal Divisionsからなり、扱う製品はプローブカード、プローバー、テスター、搬送装置、温度環境試験装置など多岐にわたり、最新鋭の校正、測定機能、制御ソフトウェアを兼ね備えています。幅広い製品ポートフォリオと広い産業カバーは従業員の育成に適した健全な環境を作り出します。製品技術間の交流は新しいイノベーションを触発し、製品をお使いいただいているお客様に対して優れたソリューションを生みだします。


MPI AST事業部は研究開発用プローバーおよび高周波プローブ関連製品を取り扱っております。
・デバイス・モデリング、 RF /ミリ波、WLR、ハイパワー、不良解析における50年相当の豊富な経験
・将来を見据えた斬新な考え
・WWでのお客様、協業者とのパートナーシップ
を主軸にお客様のご要望に合った製品を提供してまいります。

日本における代理店:
ベクターセミコン株式会社
東京都荒川区西日暮里2-43-2
TEL 03-5604-1701
FAX 03-5604-1707

MPI Corporation
No. 155, Chung-Ho St. , Chu-pei City, Hsinchu County 302, Taiwan, R.O.C.
電話: +886-35551771
http://www.mpi-corporation.com/