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i.MX 8X ベースIoTエッジコンピューティング開発キット

ファイバー式膜厚モニタ

(株)写真化学

9層の同時測定に対応

本製品は、光干渉法を用い、9層の多層膜測定が可能な小型プローブを搭載した膜厚モニタ。膜厚測定再現性:0.1nm以下(3シグマ)。メンテナンス性に優れており、プロセス装置内への組込みやライン管理に利用できる。成膜、研磨、エッチングプロセス中のインラインモニタやエンドポイントモニタ(終点検出センサ)として活用でき、膜厚のリアルタイムモニタリング(実時間監視)が行える。ポリシリコンの結晶性評価やポーラス膜の密度評価にも適している。光源は、白色LED/タングステンハロゲン/重水素・ハロゲンの3タイプから選択可能。

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ファイバー式膜厚モニタ

その他の情報

推奨環境条件
温度:セットポイント 18~45℃の範囲内
長期変化:±2.0℃/24時間以上(基準セットポイント)
短期変化:±1.0℃/1時間×1周期(基準セットポイント)
湿度:45%±20%(結露無き事)

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会社情報

(株)写真化学

(株)写真化学
〒5250058
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