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i.MX 8X ベースIoTエッジコンピューティング開発キット

イメージング膜厚モニタ

(株)写真化学

顕微画像分光法を用いて微細領域の面内膜厚分布を容易に取得

本製品は、顕微画像分光法による光干渉式膜厚モニタ。1ミクロン以下の微細なパターン上の膜厚分布を3D可視化することができる。半導体、ディスプレイやMEMS素子など、実デバイス上の複雑な透明多層構造の測定を実現。ダイ内の特定領域内の膜厚・膜質分布を管理し、高精度な欠陥検査装置としても利用できるほか、Imaging OCD(Optical Critical Dimension)やAOI(Automated Optical Inspection)としての応用も可能。

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イメージング膜厚モニタ

仕様

用途 応用対象例
・数百層の繰り返し積層膜、トレンチなどの複合構造
・EMA(有効媒質近似)法によるサブミクロンパターンの密度推定
・局所的な結晶性評価

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(株)写真化学

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