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【カタログプレビュー】スパッタリング装置 CCS-2110

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【CCS-2110】は、光学膜成膜に最適なスパッタリング装置。低温で連続多層成膜を行い、ワーク全面に成膜できる。後酸化ユニットを取り付けることで、酸化膜や窒化膜も積層可能。ワークホルダーにワークを設置するだけの容易な搬送機構であり、外部との自動化ラインが容易に構築できる【CCS-2110】は、光学膜成膜に最適なスパッタリング装置。低温で連続多層成膜を行い、ワーク全面に成膜できる。後酸化ユニットを取り付けることで、酸化膜や窒化膜も積層可能。ワークホルダーにワークを設置するだけの容易な搬送機構であり、外部との自動化ラインが容易に構築できる。

発行元:芝浦メカトロニクス株式会社

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