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非接触式シート抵抗測定システム

雄山株式会社

サンプルへの物理的損傷を与えず、高精度な測定が可能

本装置は、DC渦電流方式の米・DELCOM社製非接触型シート抵抗測定システム。半導体/液晶基板、太陽電池セル、フレキシブル材料、各種導電性フィルムなどの研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、サンプルへの物理的損傷を与えず、幅広い測定レンジにて高精度な測定が可能。従来の渦電流型よりも、測定レンジは2桁以上広く、数十倍速い測定スピードを実現。

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