ALD(原子層蒸着)ダイヤフラム・バルブ

スウェージロック・ジャパン

大流量・高温用途に対応

Swagelok ALD(原子層蒸着)ダイヤフラム・バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20シリーズ」 を製品ラインアップに追加。ALD(原子層蒸着)用途での性能を最適にするため、アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えている。

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ALD(原子層蒸着)ダイヤフラム・バルブ

その他の情報

エアー・アクチュエーター:ノーマル・クローズ型、ノーマル・オープン型
アクチュエーター:標準モデル/高温モデル
バルブのオープンまたはクローズに要する時間は5 ms未満
工場にて流量設定を行っているため、正確で安定したCv値を確保
完全に包み込まれた高純度 PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れる
流路から障害物を一掃
たまり部分を最小限に抑える
パージが容易
大流量を実現

製品カタログ

原子層蒸着プロセス向けバルブ ALDシリーズ

【ALDシリーズ】は、原子層蒸着(ALD)プロセスの過酷な要求に応えるため、サイクル・ライフが非常に優れ、高速の開閉可能です。標準と高温モデルで、さまざまなALDプロセス流体に対応。

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会社情報

スウェージロック・ジャパン

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スウェージロック・ジャパン
〒6638142
兵庫県 西宮市鳴尾浜1−1−1
電話: 0798-28-6300
http://www.swagelok.co.jp/