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特殊環境用ボールねじ・リニアガイド 真空環境用E-DFOボールねじ・NSKリニアガイド

日本精工(株)

長寿命化と低アウトガスを同時に達成

【真空環境用E-DFOボールねじ・NSKリニアガイド】は、薄膜潤滑技術DFOの進化で大幅な長寿命化と低アウトガスを同時に達成した製品。従来品に比べ数倍〜20倍の長寿命に加え、高真空環境でのアウトガスの抑制、摩擦力の低減によるモータへの負荷の軽減で高効率装置の実現などが可能。ウエハ検査装置、SED製造設備、イオン注入機など多用途。

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会社情報

日本精工(株)

日本精工(株)
〒1418560
東京都 品川区大崎1-6-3 日精ビル
http://www.nsk.com/jp/
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