耐久性・経済性を追及した単段スクリュースク式
【BUSCH COBRA DSシリーズ】は、排気バイパスがないためCVDやメタルエッチングなどの固着ハードプロセスに極めて強い性能を発揮する単段スクリュースク式ドライ真空ポンプ。ポンプケーシング内の温度制御を可能にし、低回転スクリューローターにより低振動・低騒音・省電力化を実現。さらに集中制御とポンプアラームコントロール機能を装備。
関連製品カタログ
SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。特に高速で高度なプロセスに最適 例: CVD
会社情報
