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ドライ真空ポンプ BUSCH COBRA DSシリーズ

日本ブッシュ(株)

耐久性・経済性を追及した単段スクリュースク式

【BUSCH COBRA DSシリーズ】は、排気バイパスがないためCVDやメタルエッチングなどの固着ハードプロセスに極めて強い性能を発揮する単段スクリュースク式ドライ真空ポンプ。ポンプケーシング内の温度制御を可能にし、低回転スクリューローターにより低振動・低騒音・省電力化を実現。さらに集中制御とポンプアラームコントロール機能を装備。

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会社情報

日本ブッシュ(株)

日本ブッシュ(株)
〒2591220
神奈川県 平塚市めぐみが丘1-23-33
電話: 0463437001
www.busch.co.jp
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