耐久性・経済性を追及した単段スクリュースク式
【BUSCH COBRA DSシリーズ】は、排気バイパスがないためCVDやメタルエッチングなどの固着ハードプロセスに極めて強い性能を発揮する単段スクリュースク式ドライ真空ポンプ。ポンプケーシング内の温度制御を可能にし、低回転スクリューローターにより低振動・低騒音・省電力化を実現。さらに集中制御とポンプアラームコントロール機能を装備。
関連製品カタログ
15.0 真空/15.1 高真空/15.2 超高真空の真空封止用バルブ。パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用。
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