耐久性・経済性を追及した単段スクリュースク式
【BUSCH COBRA DSシリーズ】は、排気バイパスがないためCVDやメタルエッチングなどの固着ハードプロセスに極めて強い性能を発揮する単段スクリュースク式ドライ真空ポンプ。ポンプケーシング内の温度制御を可能にし、低回転スクリューローターにより低振動・低騒音・省電力化を実現。さらに集中制御とポンプアラームコントロール機能を装備。
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加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する研究機関向けシャッター。メンテナンス不要。
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