耐久性・経済性を追及した単段スクリュースク式
【BUSCH COBRA DSシリーズ】は、排気バイパスがないためCVDやメタルエッチングなどの固着ハードプロセスに極めて強い性能を発揮する単段スクリュースク式ドライ真空ポンプ。ポンプケーシング内の温度制御を可能にし、低回転スクリューローターにより低振動・低騒音・省電力化を実現。さらに集中制御とポンプアラームコントロール機能を装備。
関連製品カタログ
【FMEシリーズ】は、空気消費量の20％削減と、騒音とされていた排気音の大幅カットを実現したマイクロエジェクタ。省エネ仕様により周辺の空気圧機器への流量低下を軽減でき、供給圧力0.36MPaで到達真空度−88kPaを発生...
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