厚膜ポジティブ/ネガティブ・トーン・フォトレジスト

(株)日本レーザー

400nm近傍波長に感度を有する

本製品は、Heidelberg Instruments社とのコラボレーションにより開発された厚膜フォトレジスト。400nm近傍の波長に感度を有し、アプリケーションの拡大を実現。グレイスケール露光に対応したポジティブ・トーン(~60μm厚)と高アスペクト比パターンの形成が可能なネガティブ・トーン(~150μm厚)を兼備。ニッケル電鋳に対応する。

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会社情報

(株)日本レーザー

レーザー専門商社の草分けとして1968年から研究・開発者のニーズにお応えしてきた当社は、世界のトップクラスメーカーとの製品の輸出入、最先端理科学用レーザーから汎用性の高いレーザー装置のご提案など、いわば“グローバル・コミュニケーション”を構築しています。

日本レーザーは、多彩なレーザー発振器と周辺機器、これらレーザー光を応用した計測・解析・加工の各種目的に応じた装置、さらに幅広く光関連の機器・装置まで、豊富な製品をラインアップして皆様の要望にお応えすべく努めています。

(株)日本レーザー
〒1690051
東京都 新宿区西早稲田2-14-1
電話: 0352850861
http://www.japanlaser.jp