光ファイバ式温度センサ

(株)日本レーザー

厳しい環境において高い性能を要求される半導体アプリケーションに好適

本製品は、高い精度と信頼性、素早いカスタム・プロトタイプ対応で半導体/OLED製造装置の温度計測に貢献する光ファイバ式温度センサ。優れた精度、分解能、および長期安定性を実現し、固体、液体、気体の温度測定が可能。電磁波による干渉、迷光、および厳しい化学環境に対する不感受性があり、幅広い温度範囲で計測が行える。遠距離における測定にも対応。

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光ファイバ式温度センサ

仕様

用途 <応用例>
・プラズマエッチング&成膜装置における温度測定
・ウェハポジション

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会社情報

(株)日本レーザー

レーザー専門商社の草分けとして1968年から研究・開発者のニーズにお応えしてきた当社は、世界のトップクラスメーカーとの製品の輸出入、最先端理科学用レーザーから汎用性の高いレーザー装置のご提案など、いわば“グローバル・コミュニケーション”を構築しています。

日本レーザーは、多彩なレーザー発振器と周辺機器、これらレーザー光を応用した計測・解析・加工の各種目的に応じた装置、さらに幅広く光関連の機器・装置まで、豊富な製品をラインアップして皆様の要望にお応えすべく努めています。

(株)日本レーザー
〒1690051
東京都 新宿区西早稲田2-14-1
電話: 0352850861
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