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【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ
i.MX 8X ベースIoTエッジコンピューティング開発キット

スピンエッチャ MSE3000

三益半導体工業(株)

8インチサイズで薬液最大3液まで温調回収循環が可能

【MSE3000】は、片面のシリコンエッチング、膜除去、洗浄ができるスピンプロセッサ。ウェーハ厚み、酸化膜/窒化膜等の膜厚をモニタしてのエンド検出機能を装備(加工データ管理機能付き)し、8インチサイズで薬液最大3液まで温調回収循環が可能。回転保持機構部にフィンタイプチャックを採用、薄い反りのあるウェーハに対し安定した保持能力が特長、裏面への処理液の回り込みが極めて少なく、裏面へのリンスも可能。

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会社情報

三益半導体工業(株)

三益半導体工業(株)
〒3703521
群馬県 高崎市棟高町1909-1
電話: 0273735888
http://www.mimasu.co.jp/