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精密研磨装置 PM5

ハイソル(株)

半導体分野向けの研磨装置で、ICの故障解析に最適

【PM5】は、半導体分野向けの英・Logitech社製精密研磨装置。このたび、パネルデザインが一新し、ジョイスティックですべての操作が可能になった。ICの故障解析に不可欠なディレイヤリングやSEM・TEM用試料の前処理、MEMS基板の平坦化に適しており、。PM5の自動面修正機構により、研磨プレートと冶具は常に並行度と平坦性が保たれ、再現性の良い研磨を可能にしている。最大4インチ径までの基板、試料に対応し、耐薬品仕様も用意されている。主な仕様は、(1)プレート最大回転数 70rpm、(2)プレート径 30cm、(3)寸法 604(W) x 652(D) x 376(H)mm、(4)重量 58Kg。

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