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卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx420

ハイソル(株)

1台でマイクロインデントから劈開まで対応

【LatticeAx420】は、±10μm以内の高精度な劈開をマニュアルで行える、LatticeGear社製の卓上型装置。作業者に左右されない高い再現性を持ち、1台でマイクロインデント(浅い切込み)から劈開まで対応する。スクライブを行わないため、ターゲット箇所を損失することがない。TSVやバンプの断面観察の前処理用途として、わずか5分以内にそのままSEM観察ができるレベルの断面を出すことが可能。FIBなどの加工時間を大幅に短縮する前処理ツールとしても使用できる。

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卓上型マニュアル劈開装置 LatticeAx420

その他の情報

≪主な特長≫
・早い(5分以内)
・高精度(±10um以内)
・作業者に左右されない高い再現性
・低価格
・最大サンプルサイズ:8インチウエハーまたは1/2-300mmウエハー
・最小サンプルサイズ:9mm  ※これ以下のサイズは、専用アクセサリーキットを使用
・TSVやバンプの断面解析に最適
・鏡面仕上げ

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会社情報

ハイソル(株)

ハイソル(株)
〒1100005
東京都 台東区上野1-17-6 広小路ビル
電話: 0338362800
http://www.hisol.jp/