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超音波微小液体流量計 μLF-100

(株)ソニック

デジタル信号処理を用い高精度測定

【μLF-100】は、1ml/minからの測定が可能な超音波微小液体流量計。センサ部が流体に非接触な構造で、デジタル信号処理を用いた微小流量高精度測定が可能。1:500の広いレンジアビリティを実現。IPA・純水・薬液などの半導体製造工程における微小領域の流量管理、コスト/品質管理、ISO14001における環境用流量管理に有用。

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超音波微小液体流量計 μLF-100

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