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検査用ステージ 面発光ポーラスチャック

(株)吉岡精工

真空吸着テーブルと面発光体を一体化

【面発光ポーラスチャック】は、面発光状の照明を同社の真空吸着テーブル「ポーラスチャック」下面に組み込んだ検査用のステージ。供給電源:100V、定格電流:最大2A。照度は発光エリアで最大100,000 lxと太陽光に近い明るさに対応、調光機能の搭載も可能。顕微鏡に搭載し、バックライト機能としても使用できる。吸着ステージが搭載されているため、シリコンウェハやプリント基板、保護フィルムなど固定が難しい薄い検査対象物も反りや変形を抑えて容易に検査することが可能となる。回路パターン検査やチッピング検査などさまざまな分野で使用できる。製品サイズは直径150mmを標準とし、その他のサイズもカスタマイズ対応が可能。

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