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加熱・冷却機能付きポーラスチャック

(株)吉岡精工

吸着しながら、加熱・冷却実験が可能

加熱・冷却機能付きのポーラスチャックで、吸着しながら加熱実験(プローブ実験、加熱耐久実験など)を行えるユニットである。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されている。加熱温度としては、最大で250℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能である。

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加熱・冷却機能付きポーラスチャック

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会社情報

(株)吉岡精工

(株)吉岡精工
〒2300045
神奈川県 横浜市鶴見区末広町1-1-49 末広ファクトリーパーク内
電話: 0455001363
http://www.yoshioka.co.jp/
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