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真空吸着テーブル ポーラスチャック

(株)吉岡精工

薄いワークを破損することなく平面保持可能

【ポーラスチャック】は、大口径対応の高精度真空吸着テーブル。吸着面となるポーラス(多孔質体)と負圧の利用により吸着するので、シリコンウエハなどの薄いワークを破損することなく平面保持が可能。平面度はミクロン単位の高精度で仕上げられており、薄いフィルム状のワークも変形することなく形状検査を行うことができる。

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(株)吉岡精工

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