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真空吸着テーブル ポーラスチャック

(株)吉岡精工

薄いワークを破損することなく平面保持可能

【ポーラスチャック】は、大口径対応の高精度真空吸着テーブル。吸着面となるポーラス(多孔質体)と負圧の利用により吸着するので、シリコンウエハなどの薄いワークを破損することなく平面保持が可能。平面度はミクロン単位の高精度で仕上げられており、薄いフィルム状のワークも変形することなく形状検査を行うことができる。

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会社情報

(株)吉岡精工

(株)吉岡精工
〒2300045
神奈川県 横浜市鶴見区末広町1-1-49 末広ファクトリーパーク内
電話: 0455001363
http://www.yoshioka.co.jp/
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