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スパッタリング装置 E-200S

キヤノンアネルバ(株)

3次元同時スパッタが可能

【E-200S】は、3次元同時スパッタが可能なスパッタリング装置。ロードロック室を標準装備、真空排気操作の完全自動化などに対応できる機能強化を実現。コンパクト設計による省スペース化に加え環境に配慮したECO設計で、800℃の高温加熱が行える。φ2インチカソードを搭載、オフセットも可能。本体寸法:1700×740×1350mm。

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スパッタリング装置 E-200S

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会社情報

キヤノンアネルバ(株)

キヤノンアネルバ(株)
〒2158550
神奈川県 川崎市麻生区栗木2-5-1
電話: 0449805130
http://www.canon-anelva.co.jp/
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