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顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ

アームス システム(株)

電極パターンマスクの作製は不要

【UTAシリーズ】は、LED光源DLPプロジェクタと金属顕微鏡を組み合わせた、縮小投影型のマスクレス露光装置。解像度数ミクロンの任意のパターンをレジスト塗布した基板上に投影し、露光を行う。専用に開発したソフトウェア上で自由なパターン作成が可能。さまざまな大きさ、形状の層状物質単結晶薄片上に大気中で電極を形成できるため、電子線リソグラフィーよりも扱いやすく、リーズナブルな価格を実現。

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顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ

仕様

用途 薄膜FETやホール効果測定試料の電極形成
グラフェン・モリブデン原石から剥(薄)片を取り出し、原石の特性評価を行うための電極形成
研究開発用途向けのパターン形成

その他の情報

≪主な特長≫
顕微鏡とDLPの組合せのため、既存のマスクレス露光装置より安価にシステム構築が可能
使い勝手のよい専用ソフトで、かんたんに露光パターンを作成可能
対物レンズの倍率で微細なパターンから広範囲の一括露光が可能
所有の金属顕微鏡に取り付けることも可能(条件により可)
解像度 数ミクロン(数ミクロンパターン成形)も可能

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会社情報

アームス システム(株)

アームス システム(株)
〒1580093
東京都 世田谷区上野毛1-27-6 エクセル上野毛ビル2F
電話: 0357581888
http://www.armssystem.co.jp/
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