半導体製造装置向け微圧用圧力センサ 820Gシリーズ

フォーティブICGジャパン(株)

絶対圧およびVCR取付に対応

【820Gシリーズ】は、高精度(標準:±0.5%、オプション:±0.25%)かつコストパフォーマンスに優れた圧力センサである。絶対圧での計測が可能なうえ、負圧計測にて必要とされる取付形状(VCRなど)をラインアップしている。圧力レンジはTorr、Pa、barの3種類を用意。-20~+80℃の広い使用温度範囲で、厳しい使用環境にも最適なため、半導体製造装置をはじめ、チラー、滅菌器、凍結乾燥装置、真空蒸留装置など、ユーザーの装置の信頼性向上に貢献している。

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