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高性能集束イオンビーム装置 MI4050

株式会社日立ハイテクサイエンス

加工スピード、加工精度、観察精度を向上

【MI4050】は、数nmまで細く絞ったイオンビームで試料表面を走査することで、ナノレベルのエッチング加工(食刻)、デポジション加工(堆積)、顕微鏡観察を1台で行なえる集束イオンビーム装置(FIB装置)。大電流ビームの搭載により、従来機の約2倍のビーム電流の使用が可能となり、加工時間の大幅短縮を実現。さらに、0.5kV(オプション設定時)まで加速電圧を下げることで、より高品位なTEM試料作製が可能となったうえ、高精度メカニカルユーセントリックチルト5軸電動ステージの採用により、より高精度な座標位置指定が行える。「簡単操作で高精度」をキーワードに、習熟を必要としない自動加工を実現。

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会社情報

株式会社日立ハイテクサイエンス

株式会社日立ハイテクサイエンス*は、日立ハイテクノロジーズグループの、分析・計測装置メーカーです。 幅広い製品ラインアップで、電子デバイス・環境・素材・エネルギーなどの産業分野、大学・研究機関での研究開発など、多彩な分野における観察・検査ニーズにお応えします。
*エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社より、2013年に商号変更いたしました。

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〒1050003
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