PR
i.MX 8X ベースIoTエッジコンピューティング開発キット
【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ

全自動紫外線露光装置 MA200Compact

ズース・マイクロテック(株)

高いアライメント精度を保持

【MA200 Compact】は、MEMS、IGBTパワー半導体、金バンプなど広い分野で豊富な実績を誇る200mmウエハ用両面マスクアライナ。次世代の全面一括リソグラフィシステムで、より高精度のオーバーレイを提供。優れたDirectAlignオプションのアライメント精度は0.5μm(3σ)と高精度を実現。薄ウエハ、反りウエハ対応オプションも用意している。

この製品が気になった方はこちら
お問い合わせ
全自動紫外線露光装置 MA200Compact

関連製品カタログ

電子デバイス(半導体)向けインクジェット装置 IP300

【IP300】は、オールインワン型の電子デバイス(半導体)向けインクジェット装置。塗布から乾燥までの一貫したトータルソリューションモデル。インク使用効率(~99%)による製造コストダウンが可能。

広域成膜用インラインスパッタ Inline SPT‐370
酸化物&金属向けコ―ティング用クラスタースパッタ ClusterSPT‐200
3 x 8インチガン白金コーティング用UHVスパッタ UHV Sputter‐80P
MiniLab-026 研究開発用 フレキシブル薄膜実験装置
精密金型リリースコーティングスパッタ GMP Sputter‐400
イオンビームエッチング装置
2 x 7/2 x 4インチ RFスパッタ Sputter Lab‐150M

会社情報

ズース・マイクロテック(株)

ズース・マイクロテック(株)
〒2260006
神奈川県 横浜市緑区白山1-18-2 
電話: 0459315600
http://www.suss.com