エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2

株式会社イワキ

高温大流量移送により、洗浄効率を大幅に向上

【FS-100HT2】は、Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能なエアー駆動ベローズポンプ。CARO(SPM)H3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、同社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上(55L/min→100L/min)が見込める。循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能。また部品形状を最適化することにより、当社従来製品(80〜100L/minクラス)の重量に対して、約30%の重量低減を実現。ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できる。接液部には、すべてフッ素樹脂(PTFE、PFA)使用し、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が行える。ポンプ外周部もフッ素コーティングを施し、金属露出のない設計となっている。

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弊社は豊富な品揃えで、あらゆるご要求仕様にお答えするケミカルポンプの総合メーカーです。長年の経験と実績に基づいた確かな技術力で、半導体、医療、表面処理、水処理施設などをはじめとした様々な分野のニーズにお応えします。液体の移送・制御に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。

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