フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R

株式会社イワキ

再現性±0.3%(F.S.)以下の高精度、コンパクト、低コスト

【PDS-105R】は、ステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%(F.S.)以下を実現したフォトレジストディスペンスポンプ。高さ:260mm、幅:50mmのコンパクト設計で、主要部品を成型化することでコストが低減。半導体関連のレジストディスペンス用途において、摺動部・滞留部がないため、液のゲル化を抑えられる。コンタミフリー。

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弊社は豊富な品揃えで、あらゆるご要求仕様にお答えするケミカルポンプの総合メーカーです。長年の経験と実績に基づいた確かな技術力で、半導体、医療、表面処理、水処理施設などをはじめとした様々な分野のニーズにお応えします。液体の移送・制御に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。

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