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【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ

ICP型プラズマ源 LG3000

(株)ランドマークテクノロジー

圧力は6〜266(Pa)まで動作可能

【LG3000】は、機械的なマッチングがなく、操作が簡単でコンパクトなプラズマ源。圧力は6〜266(Pa)まで動作可能。アッシングや酸化に必要な酸素プラズマやエッチングに必要なフッ素ガス、注目の水素ガスにも対応可能。プラズマ安定時間:30ms以内、最大出力:3kW、サイズ:375×305×245mm、水冷式などの特性を具備。

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