【カタログプレビュー】TEMPAX Float & ガラスウエハー

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ショット日本では、20年以上前、後に最も汎用性の高い特殊ガラスの一つとなるガラス素材の生産ラインに、ショットは初めてマイクロフロートプロセス(フロートガラス製法)を導入し、世界初のフロートガラス製法によるホウケイ酸ガラス「TEMPAX Float」を提供。質の高いドイツの技術を核としており、先進的なノウハウと革新的な技術などのシームレスな相互作用により開発。陽極接合用のガラスウエハーの性能やウエハー薄化プロセスでキャリアウエハーとして使用されるガラスウエハーの性能に求められる要求は、主として永続的または一時的な接合相手であるシリコンウエハーの性能要求に100%適合するかどうかで決定される。熱膨張挙動がうまく適合しているということは、優れた平面度、工程の ロバスト性 と同程度に重要になる。レーザーによる高速剥離に特に必要とされる高いUV透過率に加えて、卓越した材料特性を実現。

発行元:ショット日本(株)

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