製造装置用フィルタユニット

(株)日立産機システム

半導体製造装置などの局所クリーン化に対応

本製品は、クリーンルームや製造装置などの局所空間のクリーン化に最適なファンフィルタユニット。半導体製造装置、搬送装置、保管庫、クリーンブースなどの用途に適している。

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電話: 03-4345-6000
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