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エキシマ真空イオナイザ E900-172-ICF114

(株)エキシマ

ICF114フランジタイプ

【E900-172-ICF114】は、真空チャンバービューポートへICF114フランジで簡単に取り付け可能な光源分離型の真空イオナイザ。空冷方式のエキシマランプによるシンプルなシステム構造で低コスト高性能を実現。予熱不要で瞬時ON/OFFが可能。波長172nm、水銀不使用UVランプを採用しており、安心して利用できる。

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エキシマ真空イオナイザ E900-172-ICF114

仕様

寸法 光源部サイズ:W300×H157×D180mm
電源サイズ:W250×H133×D200mm

その他の情報

・波長:172nm 
・真空フランジポート:ICF114 
・冷却方式:空冷
・機能:ランプ点灯、消灯
・電源:AC100V 50/60Hz 2A アース端子付
・ガス:N2
・ケーブル長(ランプ~電源):0.5m
・環境仕様:温度15~30℃、湿度20~80%、結露及び腐食、振動環境条件で無きこと

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会社情報

(株)エキシマ

UV洗浄・表面改質と表面計測、接触角計の専門メーカー

(株)エキシマ
〒2250026
神奈川県 横浜市青葉区もみの木台23-15
電話: 0455073313
http://www.excimer.co.jp
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