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【新登場】ワイヤレスデータロガーHD35シリーズ / WEBデータロガーHD50シリーズ
i.MX 8X ベースIoTエッジコンピューティング開発キット

ポリ・パラキシレン膜に特化

本製品は、クリーニングが容易で、PLCで膜厚制御(SCS社は温度により制御)が行える成膜装置。バリア性・抗菌性・生体適合性に優れた膜を形成。オプションで、オンラインモニタリング、プラズマ前処理、基板加熱などの機能を追加することが可能。

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絶縁膜成膜装置

仕様

型番 C20S
寸法 【卓上型】
装置サイズ:W×H×D 1180×500×750mm
チャンバー寸法:φ200×L210mm
最大基板サイズ:φ150 ×170mm(厚み)
重量 90kg
対応規格 RoHS、REACH、SGS、ESD、IPC、USP
利用されている業界 エレクトロニクス、医療、航空・宇宙

その他の情報

成膜プロセス:コーティングは、専用の真空蒸着装置を用い、室温にて実施。ダイマーと呼ばれる固体の顆粒状原材料を真空下で加熱すると、気化してダイマー気体となる。この気体が熱分解してダイマーが開裂し、モノマー形態になり、室温の蒸着チャンバ内で、このモノマー気体がすべての表面で重合し、薄く透明なポリマーフィルムが形成される。

プリカーサ:ポリ・パラエチレン(Parylene C)、ポリ・クロパラエチレン(Parylene N)、 ポリ・ジクロロパラエチレン(Parylene D)など(材料も販売)。

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会社情報

(株)マツボー

(株)マツボー
〒1050001
東京都 港区虎ノ門3-8-21 33森ビル
電話: 0354721727
http://www.matsubo.co.jp